Estudo da oxidação de AlAs em heteroestruturas semicondutoras

Mcglennon da Rocha Regis

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DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor1	Wagner Nunes Rodrigues	pt_BR
dc.contributor.advisor-co1	Franklin Massami Matinaga	pt_BR
dc.contributor.referee1	Karla Balzuweit	pt_BR
dc.creator	Mcglennon da Rocha Regis	pt_BR
dc.date.accessioned	2019-08-11T08:56:21Z	-
dc.date.available	2019-08-11T08:56:21Z	-
dc.date.issued	2002-02-09	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/1843/ESCZ-5KUPHR	-
dc.description.abstract	In this work, we investigate the oxidation processing of AlAs in semiconductor AlAs/GaAs multilayer structures. Our results show a direct dependence of the depth of oxidation with the time of exposure to the oxidating atmosphere. This leads to a change in the reflectivity of the multilayer structures, shifting the reflectivity maximum range towardslower wavelengths. We could demonstrate the loss of As in the oxidized regions. In our samples we could also observe a deepning of the oxidated regions relative to the non-oxidated ones. We conclude that the oxidation process takes place more significantly in the AlAs layer, in comparison with the GaAs ones.	pt_BR
dc.description.resumo	No presente trabalho, estudamos o processamento por oxidação de AlAs em heteroestruturas semicondutoras. Nossos resultados mostram uma dependência direta do comprimento de oxidação com o tempo de exposição à atmosfera oxidante. Isso acarreta uma mudança na refletividade das heteroestruturas com um deslocamento da faixa de refletividade máxima para comprimentos de onda menores. Determinamos o perfil químico das estruturas e mostramos a perda de As nas regiões oxidadas. Nossos resultados mostram um desnível na fronteira entre as regiões oxidadas e nãooxidadas. Concluímos que o processo de oxidação ocorre significativamente nas camadas de AlAs, não sendo percebido o mesmo para as camadas de GaAs.	pt_BR
dc.language	Português	pt_BR
dc.publisher	Universidade Federal de Minas Gerais	pt_BR
dc.publisher.initials	UFMG	pt_BR
dc.rights	Acesso Aberto	pt_BR
dc.subject	Oxidação de AlAs	pt_BR
dc.subject.other	Dispositivos optoeletrônicos	pt_BR
dc.subject.other	Heteroestruturas semicondutoras	pt_BR
dc.subject.other	Semicondutores oxido-metalicos	pt_BR
dc.subject.other	Heterostructures	pt_BR
dc.subject.other	Física	pt_BR
dc.subject.other	Dispositivos eletronicos	pt_BR
dc.title	Estudo da oxidação de AlAs em heteroestruturas semicondutoras	pt_BR
dc.type	Dissertação de Mestrado	pt_BR
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