Fabricação de dispositivos nanoeletrônicos baseados em nanotubos de carbono
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Universidade Federal de Minas Gerais
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Dissertação de mestrado
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Resumo
O objetivo desse trabalho é implementar técnicas de nanofabricação para construir e realizar medidas em dispositivos de nanotubos de carbono de parede única, crescidos pelos métodos CVD (chemical vapour deposition) na superfície dióxido de silício e HipCO (high pressure carbon monoxide convertion) em suspensão aquosa de surfatantes. Estudamos a deposição dos nanotubos em suspensão em substrato de dióxido de silício funcionalizado quimicamente por uma monocamada auto-construída com o radical amina (NH2). O efeito do tempo de deposição e concentração da solução nas deposições foi estudado através do método de microscopia de varredura por sonda. Obtidos SWNTs isolados em superfície de dióxido de silício sobre os substratos, fizemos marcas com litografia de feixe de elétrons para mapear e indexar a localização dos nanotubos através de imagens de SPM (scanning force microscopy_microscopia de varredura por sonda). Contatos metálicos foram então fabricados combinando litografia óptica e litografia por feixe de elétrons para conectar as extremidades dos nanotubos para medidas de transporte elétrico.
Abstract
I this work we implement nano-fabrication techniques to construct and make measurements in single-walled carbon nanotubes (SWNTs) based devices. The nanotubes used were grown by CVD (chemical vapour deposition) method onto silicon dioxide surface and by HipCO (high pressure carbon monoxide convertion) method. The further were used in aqueous suspention using surfactants. We studied the suspended SWNTs deposition in a chemically functionalised silicon dioxide substrate by a self-assembled -NH2 terminated monolayer. We have studied the effects of time of deposition and suspention concentration on the prepared samples using SPM (scanning probe microscopy) method. Once we had the isolated SWNTs onto the silicon dioxide substrate, we have made lithographic marks using optical and electron-beam lithographies to index the tubes onto the surface using SPM method. Metallic contacts were then fabricated combining the two lithographic methods mentioned above to contact the ends of the tubes to perform electrical transport measurements.
Assunto
Dispositivos nanoeletrônicos, Nanotubos de carbono, Nanotecnologia, Física
Palavras-chave
Fisica